薄膜表面缺陷检测系统用于检测生产过程中各种薄膜表面常见的黑点、蚊虫、孔洞、晶点、划痕等缺陷。薄膜表面缺陷检测系统的功能主要包括:
一、快速获取表面缺陷图像;
二、缺陷位置(缺陷图的具体位置分布);
三、发现缺陷后声光报警;
四、缺陷统计和自动报告生成;
五、缺陷产品边缘的标记和定位(可选);
六、自动缺陷分类(可选,根据客户对缺陷的要求);
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